元器件特性测试仪

百检网 2021-11-11

该设备的电流分辨率可达1f A, 电压分辨率可达0.2u V, *大电压可达±100V，足以满足当前及今后很长时间对深亚微米，超大规模集成电路以及MEMS的测试要求。安捷伦公司的4156C不但具备半导体参数分析所需的所有功能，还标准内置了QSCV功能。通过4156C可直接控制4284A LCR METER，将HFCV 与QSCV的结果在4156C上同屏显示，可直接观察两曲线的拟和程度，直接提取出氧化层厚度，界面态密度等参数。

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