1.范围
本标准规定了蒸发金的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存。
本标准主要适用于制造半导体器件用芯片时背金用蒸发金。
2.规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其*新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 11066(所有部分) 金化学分析方法
GB/T 15077 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法
GB/T 25934(所有部分) 高纯金化学分析方法
3.要求
3.1 产品分类
3.1.1 蒸发金产品按化学成分分为Z-Au99.99和Z-Au99.99两种牌号。
3.1.2 蒸发金产品主要以片状、柱状和线盘状为主,产品形状及供货状态应满足表1的要求。需方有其他要求时由供需双方协商解决。
3.2 产品标记示例
3.2.1 柱状蒸发金标记
示例:直径为5mm、长度为20mm、成分为99.999%的柱状蒸发金产品 标记为:Z-Au99.999,Φ5×20mm。
3.2.2 蒸发金片状产品标记
示例:长为10mm、宽为10mm、厚为2mm的片状蒸发金产品 标记为:Z-Au99.999,10×10×2mm。
3.2.3 蒸发金线盘状产品标记
示例:线径为0.5mm、每盘200g重量的线盘状蒸发金产品 标记为:Z-Au99.999,Φ0.5mm,200g/线盘。
3.3 化学成分
产品化学成分应符合表2的要求,其中金质量分数为****减去表中规定的杂质实测值的总和而得。需方对某种特定杂质元素含量有要求的,按供需双方协商进行。
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