DB31/ 792-2020 硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额

百检网 2022-10-13

标准简介

本标准规定了硅单晶及硅单晶片单位产品能源消耗限额的技术要求、统计范围、计算方法及节能降耗导向。 本标准适用于半导体级硅单晶和硅单晶片,包括研磨片、抛光片、外延片(以下统称“硅片”)生产企业产品能源单耗的计算、考核以及对新建项目能源单耗的控制。
标准状态:现行
替代情况:替代DB31/ 792-2014
中标分类:能源、核技术>>能源、核技术综合>>F01技术管理
ICS分类:能源和热传导工程>>27.010能源和热传导工程综合
发布部门:上海市市场监督管理局
发布日期:2020-03-05
实施日期:2020-06-01
页数:12页

前言

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