标准简介
本标准规定了半导体设施接口技术文件编写的基本要求和格式。本标准适用于半导体设施的设计、施工、供应、管理、培训及使用。英文名称：Directives for drafting semiconductor facilities interface specification
标准状态：现行
中标分类：电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L97加工专用设备
ICS分类：电子学>>电子电信设备用机电零部件>>31.220.10插头和插座装置、连接器
发布部门：国家技术监督局
发布日期：1995-01-02
实施日期：1996-08-01
页数：平装16开， 页数：15， 字数：26千字
前言
加工专用设备相关标准
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