GB/T 16594-2008 微米级长度的扫描电镜测量方法通则

标准简介

本标准代替GB/T 16594-1996《微米级长度的扫描电镜测量方法》。 本标准规定了微米级长度的扫描电镜测量方法的通用原则。 本标准与GB/T 16594-1996相比主要变化如下： ———将“测量方法”改为“测量方法通则”； ———将“误差分析”改为“不确定度评定”； ———增加样品变形产生的不确定度评定； ———改用实验方法获取图像测量的瞄准不确定度量值； ———增加“被测长度方向的调整”附录。
英文名称：General rules for measurement of length in micron scale by SEM
标准状态：现行
替代情况：替代GB/T 16594-1996
中标分类：仪器、仪表>>物质成分分析仪器与环境监测仪器>>N53电化学、热化学、光学式分析仪器
ICS分类：化工技术>>分析化学>>71.040.99有关化学分析方
发布部门：国家质量监督检验检疫.
发布日期：2008-09-18
实施日期：2009-05-01
出版日期：2009-05-01
页数：18页

前言

本标准代替GB/T16594-1996《微米级长度的扫描电镜测量方法》。本标准与GB/T16594-1996相比主要变化如下:---将测量方法改为测量方法通则;---将误差分析改为不确定度评定;---增加样品变形产生的不确定度评定;---改用实验方法获取图像测量的瞄准不确定度量值;---增加被测长度方向的调整附录。本标准的附录A 为规范性附录,附录B~附录D 为资料性附录。本标准由全国微束分析标准化技术委员会提出。本标准由全国微束分析标准化技术委员会归口。本标准主要起草单位:上海元宝能源技术有限公司、上海理工大学、上海市计量测试技术研究院、同济大学、中国船舶重工集团公司第725研究所。本标准主要起草人:张训彪、卢德生、邓保庆、丁臻敏、刘悦、高文华、徐国照。本标准所代替标准的历次版本发布情况为:---GB/T16594-1996。