标准简介
本标准规定了氩的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于以深冷法从空气、合成氨尾气中提取的液态和气态氩以及经纯化方法得到的氩。氩用于系统的吹扫、保护和增压,它还可以用于化学汽相淀积、溅射、等离子及活性离子刻蚀剂和退火等不同工艺中。英文名称：Gas for electronic industry—Argon
标准状态：现行
替代情况：替代GB/T 16945-1997
中标分类：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
ICS分类：化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
发布部门：国家质量监督检验检疫.
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-05-01
出版日期：2010-05-01
页数：5页
前言
本标准代替GB/T16945-1997《电子工业用气体 氩》。本标准与GB/T16945-1997相比主要变化如下:---修改氩的适用范围(GB/T16945-1997的第1章,本版的第1章);---增加规范性引用文件(GB/T16945-1997的第2章,本版的第2章);---修改技术指标内容:增加一类纯度和杂质含量(GB/T16945-1997的第3章,本版的第3章);---修改瓶装氩抽样方法(GB/T16945-1997的4.1.1,本版的4.1.1);---增加集装阁装、大容积钢质无缝气瓶和杜瓦罐装氩产品并规定检验方法(见4.1.1);---修改管道输送的氩抽样方法(GB/T16945-1997的4.1.1,本版的4.1.2);---增加氩的采样安全要求(见4.1.3);---修改氢、氧、氮、一氧化碳和二氧化碳的测定方法(GB/T16945-1997的4.3、4.4、4.5,本版的4.3);---增加其他方法测定总烃;当出现多种分析方法时,增加规定仲裁方法(见4.3、4.4、4.5);---修改水分的测定方法(GB/T16945-1997的4.7,本版的4.5);---修改标志、包装、贮运及安全(GB/T16945-1997的第5章,本版的第5章)。本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会提出。本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会归口。本标准起草单位:北京氦普北分气体工业有限公司、西南化工研究设计院。本标准主要起草人:赵俊秀、周鹏云。本标准所代替标准的历次版本发布情况为:---GB/T16945-1997。
