标准简介
英文名称：Method for measuring crystallographic orientation of flats on single-crystal silicon slices and wafers by X-ray techniques
标准状态：现行
替代情况：替代GB/T 13388-1992
中标分类：冶金>>半金属与半导体材料>>H80半金属与半导体材料综合
ICS分类：电气工程>>29.045半导体材料
发布部门：国家质量监督检验检疫.
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
出版日期：2010-06-01
页数：12页
前言
半金属与半导体材料综合相关标准
