标准简介
本标准规定了三氯化硼的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于以粗制三氯化硼为原料，采用吸附、精馏等方法提纯制得的三氯化硼，主要用于半导体器件生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。英文名称：Gases for electronic industry-Boron trichloride
标准状态：作废
替代情况：被GB/T 17874-2021代替;替代GB/T 17874-1999
中标分类：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
ICS分类：化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
发布部门：国家质量监督检验检疫.
发布日期：2011-04-01
实施日期：2011-05-01
作废日期：2022-05-01
出版日期：2011-05-01
页数：12页
前言
工业气体与化学气体相关标准
