标准简介
本文件规定了电子级三氟化氮的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输贮存及安全信息的要求。 本文件适用于以无水氟化氢与液氨为原料制备提纯，或以氟化氢铵为原料制备提纯得到的三氟化氮。英文名称：Electronic specialty gas—Nitrogen trifluoride
标准状态：现行
替代情况：替代GB/T 21287-2007
中标分类：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
ICS分类：化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
发布部门：国家市场监督管理总局.
发布日期：2021-10-11
实施日期：2022-05-01
出版日期：2021-10-01
页数：16页
前言
工业气体与化学气体相关标准
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