标准简介
本标准规定了电子工业用气体——瓶装氧化亚氮的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存要求。 本标准适用于硝酸铵热分解工艺制取的氧化亚氮。该产品主要用于电子工业中二氧化硅的化学气相淀积、等离子工艺。英文名称：Gases for electronic industry. Nitrous oxide
标准状态：作废
替代情况：被GB/T 14600-2009代替
中标分类：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
ICS分类：化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
发布部门：国家技术监督局
发布日期：1993-08-26
实施日期：1994-07-01
作废日期：2010-05-01
出版日期：1994-07-01
页数：6页
前言
工业气体与化学气体相关标准
.png)
