标准简介
本标准规定了电子工业用气体氧和散装液态氧的技术要求，检验方法，检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。电子工业用氧主要用于二氧化硅化学气相淀积，用作氧化源和生产高纯水的反应剂，用于等离子体蚀刻和剥离。也可用于光导纤维。英文名称：Gases for electronic industry. Oxygen
标准状态：作废
替代情况：被GB/T 14604-2009代替
中标分类：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
ICS分类：化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
发布部门：国家技术监督局
发布日期：1993-08-26
实施日期：1994-07-01
作废日期：2010-05-01
页数：7页
前言
工业气体与化学气体相关标准
