标准简介
本标准规定了电子工业用气体高纯氯产品的技术要求、试验方法、检验以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于以工业液氯为原料，采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规模集成电路、光导纤维、高温超导、铝加工等高新技术领域。英文名称：Gases for electronic industry—High purity chlorine
标准状态：作废
替代情况：被GB/T 18994-2014代替
中标分类：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
ICS分类：化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
发布部门：国家质量监督检验检疫.
发布日期：2003-03-05
实施日期：2003-08-01
作废日期：2015-07-01
出版日期：2003-08-01
页数：平装16开， 页数：7， 字数：13千字
前言
工业气体与化学气体相关标准
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