标准简介
本标准规定了蓝宝石切割片、研磨片、抛光片（以下简称蓝宝石衬底片）翘曲度的测试方法提要、干扰因素、仪器和设备、试样、测试环境、测试程序、测试结果的计算、精密度以及试验报告。 本标准适用于直径50.8mm～304.8mm，厚度为不小于200μm的蓝宝石衬底片翘曲度的测试。英文名称：Test methods for warp of sapphire substrates
标准状态：现行
中标分类：冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法
ICS分类：冶金>>金属材料试验>>77.040.99金属材料的其他试验方法
发布部门：国家质量监督检验检疫.
发布日期：2014-12-31
实施日期：2015-09-01
出版日期：2015-09-01
页数：12页
前言
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)和全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。本标准起草单位:江苏协鑫软控设备科技发展有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、北京合能阳光新能源技术有限公司。本标准主要起草人:薛抗美、魏明德、黄修康、杭寅、夏根平、肖宗杰。
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