标准简介
本标准规定了利用辉光放电发射光谱测定金属氧化物膜厚度、单位面积质量和金属氧化物膜化学组成的方法。 本方法适用于测定金属上厚度为1 nm～10000 nm的氧化物膜，氧化物的金属元素包括铁、铬、镍、铜、钛、硅、钼、锌、镁、锰和铝中的一种或多种。其他可测元素还包括氧、碳、氮、氢、磷和硫。英文名称：Surface chemical analysis—Analysis of metal oxide films by glow-discharge optical emission spectrometry
标准状态：现行
ICS分类：化工技术>>分析化学>>71.040.40化学分析
发布部门：国家质量监督检验检疫.
发布日期：2016-10-13
实施日期：2017-09-01
页数：36页
前言
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