标准简介
本标准规定了用触针式轮廓仪法测量玻璃衬底上纳米薄膜厚度的原理、仪器要求、试验环境、要求、步骤及测试报告等。?本标准适用于玻璃衬底上厚度在10 nm～1 000 nm范围内的纳米薄膜厚度测量，且薄膜与衬底之间存在或可刻蚀出台阶。其他硬质平面衬底可参考本标准执行。英文名称：Measurement of nanofilm thickness on glass substrate —Profilometric method
标准状态：现行
中标分类：建材>>陶瓷、玻璃>>Q34工业技术玻璃
ICS分类：化工技术>>分析化学>>71.040.99有关化学分析方
发布部门：国家质量监督检验检疫.
发布日期：2017-05-31
实施日期：2017-12-01
出版日期：2017-06-19
页数：16页
前言
工业技术玻璃相关标准
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