标准简介
本标准给出了采用XPS对基材上薄膜的分析报告所需的*少信息量要求的说明。这些分析涉及化学组成和均匀薄膜厚度的测量，以及采用变角XPS、XPS溅射深度剖析、峰形分析和可变光子能量XPS的方式对非均匀薄膜作为深度函数的化学组成的测量。英文名称：Surface chemical analysis—X-ray photoelectron spectroscopy—Reporting of results of thin-film analysis
标准状态：现行
中标分类：化工>>化工综合>>G04基础标准与通用方法
ICS分类：化工技术>>分析化学>>71.040.40化学分析
发布部门：国家市场监督管理总局.
发布日期：2018-06-07
实施日期：2019-05-01
出版日期：2018-06-01
页数：44页
前言
基础标准与通用方法相关标准
