标准简介
本标准规定了电子薄膜用高纯钛溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明与合同(订单)等内容。本标准适用于电子薄膜制造用的各类钛溅射靶材。英文名称：High-purity sputtering titanium target used in electronic film
标准状态：现行
中标分类：冶金>>有色金属及其合金产品>>H64稀有轻金属及其合金
ICS分类：冶金>>有色金属产品>>77.150.50钛产品
发布部门：工业和信息化部
发布日期：2013-10-17
实施日期：2014-03-01
出版日期：2014-03-01
页数：12页
前言
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。本标准由全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC243)归口。本标准起草单位:有研亿金新材料股份有限公司、宁波江丰电子材料有限公司。本标准主要起草人:何金江、董亭义、袁海军、罗俊锋、滕海涛、喻洁、贺昕、钱红兵、周辰、刘丹、陆灵芝、王学泽、熊晓东。
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