GB/T 38614-2020 基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法 现行

标准号：GB/T 38614-2020
中文标准名称：基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法
英文标准名称：Measuring method for nano positioning and scanning stage based on flexible hinge mechanism and piezo actuator
标准状态：现行,发布于2020-04-28; 实施于2020-11-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2020-04-28
实施日期：2020-11-01
中国标准分类号：01.040.39
国际标准分类号：01.040.39
归口单位：全国电子测量仪器标准化技术委员会
执行单位：全国电子测量仪器标准化技术委员会
主管部门：工业和信息化部（电子）
起草单位：沈阳建筑大学;广东工业大学;苏州昊通仪器科技有限公司;三英精控（天津）仪器设备有限公司;中国计量科学研究院;沈阳理工大学
相近标准：20162485-T-339 基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法; 基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法; GB/T 38616-2020 纳米定位与扫描平台术语; 20162484-T-339 纳米定位与扫描平台术语; 纳米定位与扫描平台术语; GB/T 2413-1980 压电陶瓷材料体积密度测量方法; 20030760-T-469 纳米级长度的扫描电镜测量方法通则; GB/T 20307-2006 纳米级长度的扫描电镜测量方法通则; SJ/T 11708-2018 功率电机驱动器测试方法; GB/T 23237-2009 腧穴定位人体测量方法