GB/T 25915.9-2018 洁净室及相关受控环境 第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级 现行

标准号：GB/T 25915.9-2018
中文标准名称：洁净室及相关受控环境 第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级
英文标准名称：Cleanrooms and associated controlled environments—Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration
标准状态：现行,发布于2018-06-07; 实施于2018-10-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2018-06-07
实施日期：2018-10-01
中国标准分类号：13.040.35
国际标准分类号：13.040.35
归口单位：全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会
执行单位：全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：中天道成（苏州）洁净技术有限公司;苏州安泰空气技术有限公司;苏州净化工程安装有限公司;中电投工程研究检测评定中心;深圳市亿天净化技术有限公司;中国工程物理研究院八所;深圳市吉隆洁净技术有限公司;苏州工业园区嘉合环境技术工程有限公司;中国电子工程设计院;中国电子学会洁净技术分会;北京世源希达工程技术公司;深圳新科特种装饰工程公司
采标情况：本标准等同采用ISO国际标准：ISO 14644-9:2012。
采标中文名称:洁净室及相关受控环境 第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级。
相近标准：20130222-T-469 洁净室及相关受控环境 第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级; 20154023-T-469 洁净室及相关受控环境 第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级; 20193268-T-469 洁净室及相关受控环境 第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级; 洁净室及相关受控环境 第1部分：根据粒子浓度划分空气洁净度等级; 洁净室与相关受控环境 第10部分：按表面化学物浓度划分表面洁净度等级; 洁净室及相关受控环境 第12部分：按纳米尺度粒子浓度划分的空气洁净度等级; 洁净室及相关受控环境 第2部分：用粒子浓度监测提供洁净室空气洁净度的证据; 洁净室与相关受控环境 第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度等级; GB/T 25915.1-2010 洁净室及相关受控环境 第1部分：空气洁净度等级; 20075920-T-469 洁净室及相关受控环境 第1部分：空气洁净度等级