GB/T 31352-2014 蓝宝石衬底片翘曲度测试方法 现行

标准号：GB/T 31352-2014
中文标准名称：蓝宝石衬底片翘曲度测试方法
英文标准名称：Test methods for warp of sapphire substrates
标准状态：现行,发布于2014-12-31; 实施于2015-09-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2014-12-31
实施日期：2015-09-01
中国标准分类号：77.040.99
国际标准分类号：77.040.99
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：江苏协鑫软控设备科技发展有限公司;北京合能阳光新能源技术有限公司;中国科学院上海光学精密机械研究所
相近标准：20110739-T-469 蓝宝石衬底片翘曲度测试方法; GB/T 31353-2014 蓝宝石衬底片弯曲度测试方法; 20110740-T-469 蓝宝石衬底片弯曲度测试方法; GB/T 30857-2014 蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法; 20110054-T-469 蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法; 蓝宝石图形化衬底片; DB44/T 1328-2014 蓝宝石图形化衬底片测试技术规范; GB/T 34504-2017 蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法; 20132165-T-469 蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法; GB/T 31093-2014 蓝宝石晶锭应力测试方法