GB/T 29504-2013 300mm 硅单晶 现行

百检网 2021-05-26
标准号:GB/T 29504-2013
中文标准名称:300mm 硅单晶
英文标准名称:300mm monocrystalline silicon
标准状态:现行,发布于2013-05-09; 实施于2014-02-01; 废止
标准类型:国家标准
标准性质:推荐性
发布日期:2013-05-09
实施日期:2014-02-01
中国标准分类号:29.045
国际标准分类号:29.045
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
起草单位:有研半导体材料股份有限公司;万向硅峰电子股份有限公司;中国有色金属工业标准计量质量研究所;宁波立立电子股份有限公司
相近标准:20080027-T-469 300mm 硅单晶; GB/T 29506-2013 300mm 硅单晶抛光片; 20080028-T-469 300mm 硅单晶抛光片; GB/T 29508-2013 300mm 硅单晶切割片和磨削片; 20080029-T-469 300mm 硅单晶切割片和磨削片; 20153730-T-469 300mm半导体设备装载端口要求; 300mm半导体设备装载端口要求; GB/T 12962-2015 硅单晶; 20011277-T-610 硅单晶; 20120275-T-469 硅单晶

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