标准号:GB/T 28159-2011
中文标准名称:电子级磷酸
英文标准名称:Electronic grade phosphoric acid
标准状态:现行,发布于2011-12-30; 实施于2012-07-01; 废止
标准类型:国家标准
标准性质:推荐性
发布日期:2011-12-30
实施日期:2012-07-01
中国标准分类号:31.030
国际标准分类号:31.030
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
起草单位:四川成洪磷化工有限责任公司;湖北兴发化工集团股份有限公司;苏州晶瑞化学有限公司;江苏江阴市润玛电子材料有限公司;苏州电子材料厂有限公司
相近标准:20081124-T-469 电子级磷酸; GB/T 10205-2009 磷酸一铵、磷酸二铵; 20073084-T-606 磷酸一铵、磷酸二铵; HG/T 3594-2010 工业焦磷酸; HG/T 5214-2017 工业次磷酸; HG/T 2520-1993 工业亚磷酸; QB/T 2949-2008 磷酸酯; HG/T 2520-2006 工业亚磷酸; HG/T 4691-2014 工业多聚磷酸; 20065375-T-606 工业磷酸