GB/T 26069-2010 硅退火片规范 现行

标准号：GB/T 26069-2010
中文标准名称：硅退火片规范
英文标准名称：Specification for silicon annealed wafers
标准状态：现行,发布于2011-01-10; 实施于2011-10-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2011-01-10
实施日期：2011-10-01
中国标准分类号：29.045
国际标准分类号：29.045
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：万向硅峰电子股份有限公司;宁波立立电子股份有限公司和杭州海纳半导体有限公司;有研半导体材料股份公司
相近标准：20081141-T-469 硅退火片规范; EJ/T 20218-2018 热释光退火炉; 20200801-T-469 硅单晶退火片; 硅单晶退火片; JC/T 604-2013 浮法玻璃退火窑; JC/T 604-1995 浮法玻璃退火窑; GB/T 16923-1997 钢件的正火与退火; 20062401-T-469 钢件的正火与退火; GB/T 16923-2008 钢件的正火与退火; GB/T 37559-2019 大型锻钢件的正火与退火