GB/T 4061-2009 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法 现行

标准号：GB/T 4061-2009
中文标准名称：硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法
英文标准名称：Polycrystalline silicon-examination method-assessment of sandwiches on cross-section by chemical corrosion
标准状态：现行,发布于2009-10-30; 实施于2010-06-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
中国标准分类号：29.045
国际标准分类号：29.045
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：洛阳中硅高科技有限公司
全部替代标准：GB/T 4061-1983
相近标准：GB/T 4061-1983 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法; 20064809-T-469 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法; GB/T 16876-1997 液氮容器夹层真空度检验方法; GB/T 4059-1983 硅多晶气氛区熔磷检验方法; GB/T 1554-2009 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法; GB/T 1554-1995 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法; 20063376-T-469 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法; GB/T 4060-2018 硅多晶真空区熔基硼检验方法; GB/T 4059-2018 硅多晶气氛区熔基磷检验方法; GB/T 4060-1983 硅多晶真空区熔基硼检验方法