GB/T 1554-2009 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法 现行

标准号：GB/T 1554-2009
中文标准名称：硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
英文标准名称：Testing method for crystallographic perfection of silicon by preferential etch techniques
标准状态：现行,发布于2009-10-30; 实施于2010-06-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
中国标准分类号：29.045
国际标准分类号：29.045
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：峨嵋半导体材料厂
全部替代标准：GB/T 1554-1995
相近标准：GB/T 1554-1995 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法; 20063376-T-469 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法; GB/T 14142-2017 硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法; 20151790-T-469 硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法; 硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法; GB/T 14142-1993 硅外延层晶体完整性检查方法 腐蚀法; GB/T 14041.1-1993 液压滤芯结构完整性检验方法; TB/T 2871-1998 内燃机车滤芯结构完整性检验方法; GB/T 36137-2018 中空纤维超滤膜和微滤膜组件完整性检验方法; 20141949-T-469 中空纤维超滤膜和微滤膜组件完整性检验方法