GB/T 21287-2007 电子工业用气体 三氟化氮 现行

标准号：GB/T 21287-2007
中文标准名称：电子工业用气体 三氟化氮
英文标准名称：Gases for electronic industry - Nitrogen trifluoride
标准状态：现行,发布于2007-12-14; 实施于2008-07-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2007-12-14
实施日期：2008-07-01
中国标准分类号：71.100.20
国际标准分类号：71.100.20
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：湖北沙隆达天门农化有限责任公司;核工业理化工程研究院特气中心;黎明化工研究院等;中国船舶重工集团公司第七一八研究所;中核红华特种气体股份有限公司
相近标准：电子工业用气体 三氟化氮; 20051092-T-469 电子工业用气体 三氟化氮; GB/T 32386-2015 电子工业用气体 六氟化钨; 20110735-T-469 电子工业用气体 六氟化钨; GB/T 18867-2014 电子工业用气体 六氟化硫; GB/T 14603-2009 电子工业用气体 三氟化硼; GB/T 18867-2002 电子工业用气体 六氟化硫; 20101283-T-469 电子工业用气体 六氟化硫; 20062751-T-469 电子工业用气体 三氟化硼; 20091224-T-469 电子工业用气体 四氟化碳