标准号:CNS 5072-1988
中文标准名称:单件半导体装置之环境检验法及耐久性检验法-气密性试验
英文标准名称:Environmental Testing Methods and Endurance Testing Methods for Discrete Semiconductor Devices (Sealing Test
中国标准分类号:L4
国际标准分类号:31.080.0119
标准依据:台标2017/02/18公告
适用范围:本标准规定单件半导体装置之封口气密性之试验方法。1.1 定义 1.1.1 计算漏气率:计算漏气率系指放置在高压边为 1 气压(101325 Pa),低压边为 1.33322×102 Pa 以下之场合,乾燥空气于 25℃ 时每秒钟的漏气通过量。单位以 Pa?cm3∕s 表示。1.1.2 测定漏气率:测定漏气率系