GB/T 26113-2010 微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则

标准号：GB/T 26113-2010
中文标准名称：微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则
英文标准名称：Micro-electromechanical system techology.General rules for the assessment of micro-geometrical parameters
标准类型：L55
发布日期：2011/1/10 12:00:00
实施日期：2011/10/1 12:00:00
中国标准分类号：L55
国际标准分类号：31.200
引用标准：GB/T 3505;GB/T 18779.2;GB/T 26111
适用范围：本标准规定了微几何量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。本标准适用于企业、研究机构、检测机构从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测。