标准号:GB/T 11164-2011
中文标准名称:真空镀膜设备通用技术条件
英文标准名称:Vacuum coating plant generic specification
标准类型:J78
发布日期:2011/11/21 12:00:00
实施日期:2012/6/1 12:00:00
中国标准分类号:J78
国际标准分类号:23.160
引用标准:JB/T 7673;GB/T 3163-2007;GB 5226.1-2008;GB/T 6070-2007;GB/T 13306-2011;GB/T 13384-2008;GB/T 15945-2008;GB 18209.1-2010;GB/T 191-2008
适用范围:本标准规定了真空镀膜设备的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存等要求。本标准适用于压力在10