GB/T 15861-2012 离子束蚀刻机通用规范

标准号：GB/T 15861-2012
中文标准名称：离子束蚀刻机通用规范
英文标准名称：General specification of ion beam etching system
标准类型：L97
发布日期：2012/11/5 12:00:00
实施日期：2013/2/15 12:00:00
中国标准分类号：L97
国际标准分类号：31.550
引用标准：GB/T 4857.7-2005;GB/T 191;GB/T 5080.7-1986;GB/T 6388-1986;GB/T 13384-1992;SJ/T 142;SJ/T 1276;SJ/T 10674
适用范围：本标准规定了离子束蚀刻机的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存。本标准适用于物理溅射腐蚀作用的通用离子束蚀刻机。其他专用离子束蚀刻机亦可参照执行。