标准号:GB/T 25915.6-2010
中文标准名称:洁净室及相关受控环境 第6部分:词汇
英文标准名称:Cleanrooms and associated controlled environments.Part 6:Vocabulary
标准类型:C70
发布日期:2011/1/14 12:00:00
实施日期:2011/5/1 12:00:00
中国标准分类号:C70
国际标准分类号:01.040.13;13.040.35
适用范围:GB/T 25915的本部分给出了洁净室及相关受控环境有关的术语和定义,是本系列标准其他部分出现的术语和定义的汇总。本部分也包括了GB/T 25915.1和GB/T 25915.2中的术语和定义。