标准号：GB/T 28276-2012
中文标准名称：硅基MEMS制造技术.体硅溶片工艺规范
英文标准名称：Silicon-based MEMS fabrication technology.Specification for dissolved wafer process
标准类型：L55
发布日期：2012/5/11 12:00:00
实施日期：2012/12/1 12:00:00
中国标准分类号：L55
国际标准分类号：31.200
引用标准：GB 50073-2001;GB/T 19022-2003;GB/T 26111-2010
适用范围：本标准规定了采用体硅溶片加工工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和工艺评价规范。本标准适用于体硅溶片工艺的加工和质量检验。
GB/T 28276-2012 硅基MEMS制造技术.体硅溶片工艺规范
百检网 2021-07-13
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