标准号：GB/T 4059-2007
中文标准名称：硅多晶气氛区熔基磷检验方法
英文标准名称：Polycrystalline silicon.Examination method.Zone-melting on Phosphorus under controlled atmosphere
标准类型：H17
发布日期：2007/9/11 12:00:00
实施日期：2008/2/1 12:00:00
中国标准分类号：H17
国际标准分类号：77.040.01
引用标准：GB/T 1551;GB/T 1553;GB/T 1554;GB/T 1555;GB/T 13389;GB/T 14264
适用范围：本标准适用于多晶硅沉积在硅芯上生长的多晶硅棒基磷的检验。本标准检测杂质浓度的有效范围：0.002×10
GB/T 4059-2007 硅多晶气氛区熔基磷检验方法
百检网 2021-07-13
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