标准号:GB/T 23414-2009
中文标准名称:微束分析.扫描电子显微术.术语
英文标准名称:Microbeam analysis.Scanning electron microscopy.Vocabulary
标准类型:N33
发布日期:2009/4/1 12:00:00
实施日期:2009/12/1 12:00:00
中国标准分类号:N33
适用范围:本标准定义了扫描电子显微术(SEM)实践中使用的术语。包括一般术语和按技术分类的具体概念的术语,也包括已经在ISO 23833中定义的术语。 本标准适用于所有有关SEM实践的标准化文件。另外,本标准的某些术语定义,也适用于相关领域的文件〔例如:电子探针显微分析(EPMA)、分析电子显微术(AEM)、能谱法(EDX)等〕。