GB/T 18193-2000 真空技术 质谱检漏仪校准

标准号：GB/T 18193-2000
中文标准名称：真空技术 质谱检漏仪校准
英文标准名称：Vacuum technology-Mass-spectrometer-type leak detector calibration
标准类型：J78
发布日期：2000/9/26 12:00:00
实施日期：2001/2/1 12:00:00
中国标准分类号：J78
国际标准分类号：23.160
适用范围： 本标准规定了质谱检漏仪的校准程序。它仅适用于校准将灵敏元件处于高真空系统中的检漏仪。因此这个方法没有制订完整的验收试验。 本标准规定探索气体使用氦-4。但在适当的预防措施下，可以使用其他探索气体，如氩-40。 本标准的应用受到检漏仪不能测定小于10Pa·m·s漏率漏孔限制。 本标准程序提出了测定*小可检漏率和*小可检浓度比的两个要点。它分别应用于高真空和压力大于一个大气压的检漏仪上。