标准号：GB/T 4298-1984
中文标准名称：半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法
英文标准名称：The activation analysis method for the determination of elemental impurities in semiconductor silicon materials
标准类型：H17
发布日期：1984/3/28 12:00:00
实施日期：1985/3/1 12:00:00
中国标准分类号：H17
国际标准分类号：29.040.30
适用范围： 本标准适用于单晶硅、多晶硅中金属杂质元素和非金属杂质元素含量的测定。
GB/T 4298-1984 半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法
百检网 2021-07-14
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