IEC 62047-1-2016 半导体装置.微型机电装置.第1部分:术语和定义

百检网 2021-07-14

标准号：IEC 62047-1-2016
中文标准名称：半导体装置.微型机电装置.第1部分:术语和定义
英文标准名称：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions
标准类型：L40
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号：L40
国际标准分类号：01.040.31;31.080.01;31.080.99;31.220.01
适用范围：This part of IEC 62047 defines terms for micro-electromechanical devices including the process of production of such devices.

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