标准号:ISO 14706-2014
中文标准名称:表面化学分析 用总反射X-射线荧光(TXRF)测定法测定硅晶片的表面基本的污染
英文标准名称:Surface chemical analysis - Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
标准类型:G04
发布日期:2014/8/1 12:00:00
实施日期:1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号:G04
国际标准分类号:71.040.40
引用标准:ISO 5725-2-1994;ISO 14644-1-1999