ISO 25178-603-2013 产品几何技术规范(GPS).表面纹理:平面.第603部分:非接触(相移干涉计的显微检查)仪器标称特征

百检网 2021-07-14

标准号：ISO 25178-603-2013
中文标准名称：产品几何技术规范(GPS).表面纹理:平面.第603部分:非接触(相移干涉计的显微检查)仪器标称特征
英文标准名称：Geometrical product specifications (GPS).Surface texture: Areal.Part 603: Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy) instruments
标准类型：N13
发布日期：2013/10/1 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号：N13
国际标准分类号：17.040.20;17.040.30
适用范围：This part of ISO 25178 describes the metrological characteristics of phase-shifting interferometric (PSI) profile and areal surface texture measuring microscopes.

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