NF C96-050-8-2011 半导体装置.微机电装置.第8部分:用钢带弯曲试验法测量薄膜的拉伸性能.

百检网 2021-07-14

标准号：NF C96-050-8-2011
中文标准名称：半导体装置.微机电装置.第8部分:用钢带弯曲试验法测量薄膜的拉伸性能.
英文标准名称：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 8 : strip bending test method for tensile property measurement of thin films.
标准类型：L40
发布日期：2011/10/1 12:00:00
实施日期：2011/10/7 12:00:00
中国标准分类号：L40
国际标准分类号：31.080.01;31.220.01

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