标准号：GB/T 35306-2017
中文标准名称：硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法
英文标准名称：Test method for carbon and oxygen content of single crystal silicon—Low temperature fourier transform infrared spectrometry
标准状态：现行
发布日期：2017-12-29
实施日期：2018-07-01
中国标准分类号：H17
国际标准分类号：77.040
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
GB/T 35306-2017 硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法 现行
百检网 2021-07-14
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