标准号：GB/T 34898-2017
中文标准名称：微机电系统（MEMS）技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法
英文标准名称：Micro electromechanical system technology—Test method for the nonlinear vibration of the MEMS resonant sensitive element
标准状态：现行
发布日期：2017-11-01
实施日期：2018-05-01
中国标准分类号：L55
国际标准分类号：31.200
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会
GB/T 34898-2017 微机电系统（MEMS）技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法 现行
百检网 2021-07-14
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