GB/T 34899-2017 微机电系统（MEMS）技术基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法现行

百检网 2021-07-14

标准号：GB/T 34899-2017
中文标准名称：微机电系统（MEMS）技术基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法
英文标准名称：Micro-electromechanical system technology—Measuring method of microstructure surface stress based on Raman spectroscopy
标准状态：现行
发布日期：2017-11-01
实施日期：2018-05-01
中国标准分类号：L55
国际标准分类号：31.200
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会

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