ASTM E1438-2011 使用SIMS测量溅镀深度剖面接口宽度的标准指南

百检网 2021-07-15

标准号：ASTM E1438-2011
中文标准名称：使用SIMS测量溅镀深度剖面接口宽度的标准指南
英文标准名称：Standard Guide for Measuring Widths of Interfaces in Sputter Depth Profiling Using SIMS
标准类型：H80
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号：H80
国际标准分类号：29.045 (Semiconducting materials)

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