KS C IEC 60204-33-2010 机械安全性.机器电动设备.第33部分:半导体制造设备要求

百检网 2021-07-15

标准号：KS C IEC 60204-33-2010
中文标准名称：机械安全性.机器电动设备.第33部分:半导体制造设备要求
英文标准名称：Safety guideline for semiconductor fabrication equipment
标准类型：L95
发布日期：2010/9/10 12:00:00
实施日期：2010/9/10 12:00:00
中国标准分类号：L95
国际标准分类号：31.080
适用范围：이 표준은 반도체의 제조(공정), 측정, 조립 및 시험을 위한 반도체 제조장비와 관련된 기

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