BS ISO 14237-2010 表面化学分析.二次离子质谱.用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度

百检网 2021-07-15

标准号：BS ISO 14237-2010
中文标准名称：表面化学分析.二次离子质谱.用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度
英文标准名称：Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials
标准类型：G04
发布日期：2010/8/31 12:00:00
实施日期：2010/8/31 12:00:00
中国标准分类号：G04
国际标准分类号：71.040.50

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