标准号:GB/T 14141-2009
中文标准名称:硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法
英文标准名称:Test method for sheet resistance of silicon epitaxial, diffused and ion-implanted layers using a collinear four-probe array
标准状态:现行
发布日期:2009-10-30
实施日期:2010-06-01
中国标准分类号:H80
国际标准分类号:29.045
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会