GB/T 24582-2009 酸浸取电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质现行

百检网 2021-07-15

标准号：GB/T 24582-2009
中文标准名称：酸浸取电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质
英文标准名称：Test method for measuring surface metal contamination of polycrystalline silicon by acid extraction-inductively coupled plasma mass spectrometry
标准状态：现行
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
中国标准分类号：H80
国际标准分类号：29.045
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

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