标准号：GB/T 13388-2009
中文标准名称：硅片参考面结晶学取向X射线测试方法
英文标准名称：Method for measuring crystallographic orientation of flats on single-crystal silicon slices and wafers by X-ray techniques
标准状态：现行
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
中国标准分类号：H80
国际标准分类号：29.045
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
GB/T 13388-2009 硅片参考面结晶学取向X射线测试方法 现行
百检网 2021-07-15
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