GB/T 24575-2009 硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法现行

百检网 2021-07-15

标准号：GB/T 24575-2009
中文标准名称：硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法
英文标准名称：Test method for measuring surface sodium,aluminum,potassium,and iron on silicon and epi substrates by secondary ion mass spectrometry
标准状态：现行
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
中国标准分类号：H80
国际标准分类号：29.045
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

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